全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機為半導體襯底片清洗而設計的超聲波清洗設備。整個工藝流程使用PLC編程控制，可根據清洗工藝要求，靈活設置動作參數。采用全自動化運行過程，清洗效果好，溶劑保持潔凈時間長，實現清洗流程的自動化作業，降低操作人員勞動強度，提高設備的生產能力和清洗效果。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機技術參數：

槽體數量可根據用戶工藝要求配置。

清洗液**加熱溫度可達80度。

設有快速排放功能，排放次數可設置。

可清洗多種和尺寸的晶片（2寸、4寸等）.

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機槽內傳輸有手動、自動方式可選。

超聲波頻率可選配多種頻率，也可選配兆聲清洗功能。

帶有循環過濾、氮氣鼓泡、噴淋等功能

自動蓋結構可降低溶解揮發及對人體的傷害

具有故障提示，報警等功能。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機各部分功能：

清洗槽：工件在清洗槽進行清洗，可將工件表面及縫隙中的油污、粉塵、指紋、汗漬等離子型污垢震落；

漂洗槽：工件放入清洗槽后純水進行漂洗；

IPA槽：把殘留在工件上的水經IPA脫除；

進排液管路裝置：用于進水與排放洗劑；

過濾系統：從儲液槽中泵抽取經過濾器過濾后，使清潔的溶液重新流回至清洗槽內；

電器控制面板：控制整機的電氣部分，集中控制清洗機的各項功能，保證整機功能的實現。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機工藝流程和配置：

     由不銹鋼材質制作的超音波溶劑、水劑清洗槽，市水漂洗槽、純水漂洗槽、IPA清洗槽、IPA干燥槽等組成的一條連續工作的由清洗到干燥的裝置。操作者將裝有工件的清洗籃依次送往各清洗工位，對工件進行清洗、升降干燥，完成清洗、干燥的工作循環。

上下料裝置：

上料方式：以人工將洗籃放置在上料位，裝好工件，上料位有感應器控制定位。

下料方式：單臂機械手將洗籃放在下料位,下料位有感應器提醒人取籃。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機機械臂部分：

1、機械臂結構組成

單臂型機械臂由機架、機械臂傳動系統、吊臂、電氣控制裝置等組成。

2、機械臂基本結構及工作原理

機架：全不銹鋼制作的支撐架結構，焊接在設備底盤上，以保證機械強度及機械臂的穩定性。頂部安裝有水平橫移導軌。

橫移傳動系統：采用步進電機配合同步輪和同步帶傳動結構傳動。PLC程序控制動作。保證橫移動作的相對精度和穩定性。

提升傳動機構：采用步進電機配合鏈輪鏈條傳動，直線導軌制作的支撐結構，PLC程序控動作。保證升降動作的平穩可靠。

不銹鋼吊臂：設有不銹鋼吊臂，四掛鉤定位設計。主吊臂采用螺栓固定在機械臂安裝座上。全不銹鋼結構設計。

電氣控制裝置：采用日本松下可編程序控制器控制機械臂動作。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機特點：

自主研發的超聲波發生器、超聲波換能器，超聲強勁均勻，機械Q值高、性能穩定，使用壽命長。

PLC控制系統：進排水、清洗溫度、清洗時間、烘干時間、過濾循環時間、超聲波功率等所有參數在人機界面設置運行。

過濾循環系統：過濾精度1-50um可選，過濾掉清洗液中的顆粒沉淀物、懸浮物、漂浮物等，提高清洗劑利用率，節省清洗成本。

內槽材質采用304不銹鋼，耐酸堿，抗腐蝕能力強。

使用優質不銹鋼包裹，采用1.0mm厚電解板噴粉及亞加力板活動門和透明觀察窗。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機清洗槽內投入籃、搬出籃及槽間移動籃的全部過程都由機械手自動完成。

清洗籃：骨架采用圓枝結構，四周和底板采用不銹鋼孔板焊接，承重能力強。

根據工藝要求，可選配各種頻率段的超聲波系統。

智能型多臂式機械手，定位，運行穩定。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機整機采用PLC+觸摸屏控制，可根據生產需要監控及調整工藝參數。

上下雙邊拋動系統，清洗面均勻，效果更佳。

氣動式進出料輸送系統，有效杜絕二次污染。

FFU高效過濾系統，確保工作內環境的潔凈度。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機獨特的溢流裝置及熱交換器，節能減排。

自動化程度高，適宜于連續大批量生產，清洗品質穩定。

清洗采用刷洗配合高壓進行清洗，可以有效的清洗各種污漬、指紋和汗漬等雜質。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機輸送采用滾輪輸送，機內配有導向機構，可以有效的防止玻璃跑偏。

臺灣式風刀，切水干凈徹底。保證不留有水分。

水循環系統采用逐級溢流方式，可以有效節約用水。

設計符合國際、國內通行安全防護標準。設備具有完善的防護裝置。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機各種防護門、窗均有連鎖保護開關。運動部件和油、氣、液、電線、電纜等單元進行單獨防護。設備穩定運行時噪聲≤85dB（按檢測）。

配置的壓力容器和蓄能裝置均附有檢定證書和技術說明。

均設有急停開關，安裝在便于緊急操作的位置，顏色為紅色。

配備安全操作指導書，危險部位均進行文字和危險圖形標識。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機運輸與安裝：

搬運方法：搬運時應平起平落，垂直方向傾斜度不得超過30°，不能碰撞機器。

安裝位置：機器應安裝在通風干燥的地方，其環境溫度、濕度不應過高，機體應平穩位置，距離墻應有適當距離（建議大于1m），以便機器的通風散熱及維護方便。