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                江蘇四氟化碳檢查分析試驗(yàn)報(bào)告

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                所在地: 湖北 武漢
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                發(fā)布時(shí)間: 2023-12-18 07:46
                最后更新: 2023-12-18 07:46
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                1.用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光 氣體,用于低溫制冷劑、溶劑、潤(rùn)滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。

                2.是微電子工業(yè)中用量大的等離子蝕刻氣體,四氟甲烷高純氣及四氟甲烷高純氣、高純氧的混合氣,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

                3.用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術(shù) 。

                 

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