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電路制造在半導體芯片表面上的集成電路又稱薄膜（thin-film）集成電路。
另有一種厚膜（thick-film）集成電路（hybrid integrated circuit）是由獨立半導體設備和被動組件，集成到襯底或線路板所構成的小型化電路。
從1949年到1957年，維爾納·雅各比（Werner Jacobi）、杰弗里·杜默（Jeffrey Dummer）、西德尼·達林頓（Sidney Darlington）、樽井康夫（Yasuo Tarui）都開發了原型，但現代集成電路是由杰克·基爾比在1958年發明的。
其榮獲2000年諾貝爾物理獎，但間也發展出近代實用的集成電路的羅伯特·諾伊斯，卻早于1990年就過世。
