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                磁控濺射鍍膜機 NSC-4000 Sputter

                品牌: 那諾-馬斯特
                型號: NSC-4000S
                產地: 美國
                單價: 面議
                發貨期限: 自買家付款之日起 天內發貨
                所在地: 直轄市 上海
                有效期至: 長期有效
                發布時間: 2024-03-06 02:02
                最后更新: 2024-03-06 02:02
                瀏覽次數: 408
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                發布企業資料
                詳細說明

                NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機:先進的全自動濺射系統帶有水冷或者加熱(可加熱至700度)功能;8“旋轉樣平臺,可支持到3個偏軸平面磁控管。系統配套渦輪分子泵,極限真空可達10-7 Torr,15分鐘內可以達到10-6 Torr的真空。通過使用RF射頻開關,RF射頻或DC直流電源可以切換到多磁控管模式。通過調整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。


                NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機產品特點:

                ·         不銹鋼,鋁質腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔

                ·         70,250或500 l/s的渦輪分子泵,串接機械泵或干泵

                ·         13.56MHz,300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源

                ·         晶振夾具具有的         帶觀察視窗的腔門易于上下載片

                ·         基于LabView軟件的PC計算機全自動控制

                ·         帶密碼保護功能的多級訪問控制

                ·         完全的安全聯鎖


                選配項:

                ·         向上、向下或側面濺射

                ·         RF、DC以及脈沖DC濺射

                ·         共濺射、反應濺射

                ·         組合濺射

                ·         RF或DC偏壓(1000V)

                ·         樣品臺可加熱到700°C

                ·         膜厚監測儀

                ·         基片的RF射頻等離子清洗

                ·         預真空鎖以及自動晶圓片上/下載片


                應用:

                ·         晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質涂覆

                ·         光學以及ITO涂覆

                ·         帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆

                ·         帶RF射頻等離子放電的反應濺射


                型號:

                ·         NSC-4000:基于PC計算機全自動控制的獨立式系統

                ·         NSC-3500:基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立式系統

                ·         NSC-3000:PC計算機全自動控制的臺式系統

                ·         NSC-1000:半自動控制的臺式系統

                (以下為雙系統型號)

                ·         NSR-4000:濺射/RIE系統

                ·         NSP-4000:濺射/PECVD系統

                ·         NST-4000:濺射/熱蒸發系統


                我公司主要經營各類真空鍍膜微納加工設備,包括薄膜沉積、刻蝕及清洗去膠設備等(ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,熱真空試驗,晶圓清洗機,PA-MOCVD)


                 


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